描述
性能指标
| 产品型号 | PSM02-S01 | PSM05-S01 | PSM10-S01 |
| 运动自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy |
| 运动范围(0~100V闭环) | ±1mrad | ±2.5mrad | ±5.0mrad |
| 运动范围(-20~120V闭环) | ±1.5mrad | ±3mrad | ±6.0mrad |
| 开环角分辨率 | ≤0.025μrad | ≤0.05μrad | ≤0.1μrad |
| 闭环角分辨率 | ≤0.5μrad | ≤0.5μrad | ≤0.5μrad |
| 闭环重复定位精度 | ≤1.0μrad @10%行程 | ≤2μrad @10%行程 | ≤2.5μrad @10%行程 |
| ≤1.5μrad @全行程 | ≤3μrad @全行程 | ≤5μrad @全行程 | |
| 闭环线性度 | ≤0.05%@全行程 | ≤0.1%@全行程 | ≤0.2%@全行程 |
| 空载谐振频率 | 2.4kHz±15% | 2.0kHz±15% | 1.0kHz±15% |
